BPS型瑞士Levitronix流量控制器有哪些優(yōu)勢(shì)
BPS型瑞士Levitronix流量控制器專為微電子濕式應(yīng)用中精細(xì)流體的超純處理而設(shè)計(jì)。基于主動(dòng)磁懸浮,泵葉輪懸浮并由電機(jī)磁場(chǎng)驅(qū)動(dòng)。寬間隙確保運(yùn)動(dòng)部件之間沒有機(jī)械接觸,因此不會(huì)磨損。沒有軸承磨損或密封件損壞。
葉輪和外殼均由耐化學(xué)腐蝕的高純度含氟聚合物樹脂制成。通過電子調(diào)節(jié)葉輪速度來精確控制流體流量和壓力。
BPS型瑞士Levitronix流量控制器優(yōu)勢(shì)如下:
事實(shí)
由于止回閥、波紋管或隔膜等運(yùn)動(dòng)部件的機(jī)械接觸而產(chǎn)生的摩擦?xí)?dǎo)致磨損。磨損會(huì)導(dǎo)致顆粒脫落,從而導(dǎo)致晶圓缺陷。
測(cè)試條件
對(duì)來自四個(gè)不同制造商的十臺(tái)泵在多種測(cè)試條件下運(yùn)行期間的超純水中顆粒脫落情況進(jìn)行了評(píng)估。選擇測(cè)試條件以便可以在典型操作條件下對(duì)組中的所有泵進(jìn)行比較。
結(jié)果
無論泵的運(yùn)行條件如何, Levitronix ®泵在所有評(píng)估的泵中始終排出最少的顆粒。在所有測(cè)試中,Levitronix ®泵下游測(cè)得的顆粒濃度非常接近系統(tǒng)中沒有測(cè)試泵時(shí)測(cè)得的濃度。
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